LiAlO2 substrát
Popis
LiAlO2 je vynikajúci filmový kryštálový substrát.
Vlastnosti
Kryštalická štruktúra | M4 |
Jednotková bunková konštanta | a = 5,17 A c = 6,26 A |
Teplota topenia (℃) | 1900 |
Hustota (g/cm).3) | 2.62 |
Tvrdosť (Mho) | 7.5 |
Leštenie | Jednoduché alebo dvojité alebo bez |
Orientácia kryštálu | <100> <001> |
Definícia substrátu LiAlO2
Substrát LiAlO2 označuje substrát vyrobený z oxidu lítno-hlinitého (LiAlO2).LiAlO2 je kryštalická zlúčenina patriaca do priestorovej skupiny R3m a má trojuholníkovú kryštálovú štruktúru.
Substráty LiAlO2 sa používajú v rôznych aplikáciách, vrátane rastu tenkých vrstiev, epitaxných vrstiev a heteroštruktúr pre elektronické, optoelektronické a fotonické zariadenia.Pre svoje vynikajúce fyzikálne a chemické vlastnosti je vhodný najmä na vývoj polovodičových súčiastok so širokým pásmovým odstupom.
Jedna z hlavných aplikácií substrátov LiAlO2 je v oblasti zariadení na báze nitridu gália (GaN), ako sú tranzistory s vysokou elektrónovou mobilitou (HEMT) a diódy vyžarujúce svetlo (LED).Nesúlad mriežky medzi LiAlO2 a GaN je relatívne malý, čo z neho robí vhodný substrát pre epitaxný rast tenkých vrstiev GaN.Substrát LiAlO2 poskytuje vysokokvalitnú šablónu na ukladanie GaN, čo vedie k zlepšenému výkonu a spoľahlivosti zariadenia.
Substráty LiAlO2 sa používajú aj v iných oblastiach, ako je rast feroelektrických materiálov pre pamäťové zariadenia, vývoj piezoelektrických zariadení a výroba polovodičových batérií.Ich jedinečné vlastnosti, ako je vysoká tepelná vodivosť, dobrá mechanická stabilita a nízka dielektrická konštanta, im poskytujú výhody v týchto aplikáciách.
Stručne povedané, substrát LiAl02 sa týka substrátu vyrobeného z oxidu lítno-hlinitého.Substráty LiAlO2 sa používajú v rôznych aplikáciách, najmä na rast zariadení na báze GaN a vývoj iných elektronických, optoelektronických a fotonických zariadení.Majú požadované fyzikálne a chemické vlastnosti, vďaka ktorým sú vhodné na nanášanie tenkých vrstiev a heteroštruktúr a zvyšujú výkon zariadenia.