MgF2 substrát
Popis
MgF2 sa používa ako šošovka, hranol a okienko pre vlnovú dĺžku od 110nm do 7,5μm.Je to najvhodnejší materiál ako okienko pre ArF Excimer Laser, z dôvodu jeho dobrého prenosu pri 193nm.Je účinný aj ako optická polarizácia v ultrafialovej oblasti.
Vlastnosti
| Hustota (g/cm).3) | 3.18 |
| Teplota topenia (℃) | 1255 |
| Tepelná vodivosť | 0,3 Wm-1K-1 pri 300K |
| Tepelná rozťažnosť | 13,7 x 10-6 /℃ paralelná os c 8,9 x 10-6 /℃ kolmá os c |
| Tvrdosť podľa Knoopa | 415 so 100g indentom (kg/mm2) |
| Špecifická tepelná kapacita | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrická konštanta | 1,87 pri 1MHz paralelnej osi c 1,45 pri 1MHz kolmej osi c |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Modul šmyku (G) | 54,66 GPa |
| Hromadný modul (K) | 101,32 GPa |
| Elastický koeficient | C11=164;C12=53;C44 = 33,7 C13=63;C66=96 |
| Zdanlivý elastický limit | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poissonov pomer | 0,276 |
Definícia substrátu MgF2
Substrát MgF2 označuje substrát vyrobený z kryštálového materiálu fluoridu horečnatého (MgF2).MgF2 je anorganická zlúčenina zložená z prvkov horčíka (Mg) a fluóru (F).
Substráty MgF2 majú niekoľko pozoruhodných vlastností, vďaka ktorým sú obľúbené v rôznych aplikáciách, najmä v oblasti optiky a nanášania tenkých vrstiev:
1. Vysoká transparentnosť: MgF2 má vynikajúcu transparentnosť v ultrafialovej (UV), viditeľnej a infračervenej (IR) oblasti elektromagnetického spektra.Má široký rozsah prenosu od ultrafialového pri približne 115 nm po infračervené pri približne 7 500 nm.
2. Nízky index lomu: MgF2 má relatívne nízky index lomu, čo z neho robí ideálny materiál pre AR povlaky a optiku, pretože minimalizuje nežiaduce odrazy a zlepšuje priepustnosť svetla.
3. Nízka absorpcia: MgF2 vykazuje nízku absorpciu v ultrafialových a viditeľných spektrálnych oblastiach.Táto vlastnosť ho robí užitočným v aplikáciách vyžadujúcich vysokú optickú čistotu, ako sú šošovky, hranoly a okná pre ultrafialové alebo viditeľné lúče.
4. Chemická stabilita: MgF2 je chemicky stabilný, odolný voči širokému spektru chemikálií a zachováva si svoje optické a fyzikálne vlastnosti v širokom rozsahu podmienok prostredia.
5. Tepelná stabilita: MgF2 má vysoký bod topenia a znesie vysoké pracovné teploty bez výraznej degradácie.
Substráty MgF2 sa bežne používajú v optických povlakoch, procesoch nanášania tenkých vrstiev a optických oknách alebo šošovkách v rôznych zariadeniach a systémoch.Môžu tiež slúžiť ako vyrovnávacie vrstvy alebo šablóny pre rast iných tenkých vrstiev, ako sú polovodičové materiály alebo kovové povlaky.
Tieto substráty sa typicky vyrábajú pomocou techník, ako je nanášanie pár alebo fyzikálne spôsoby transportu pár, kde sa materiál MgF2 nanáša na vhodný substrátový materiál alebo sa pestuje ako monokryštál.V závislosti od požiadaviek aplikácie môžu byť substráty vo forme doštičiek, dosiek alebo vlastných tvarov.
